GaSb單晶基片
GaSb單晶由于其晶格常數(shù)與帶系在 0.8~4.3um寬光譜范圍內(nèi)的各種三元和四元,III-V族化合物固熔體的晶格常數(shù)匹配,因為GaSb可以作為襯底材料用作制備適合某些紅外光纖傳輸?shù)募す馄骱吞綔y器,GaSb也被預見具有晶格限制遷移率大于GaAs,使得它在制作微波器件方面具有潛在的應用前景。GaS單晶材料的主要生長方法,包括傳統(tǒng)液封直拉技術(LEC)、改進的LEC技術、移動加熱法/垂直梯度凝固技術(VGF)/垂直布里奇曼技術(VBG)等。
主要性能參數(shù) | |||||||
單晶 |
摻雜 |
導電類型 |
載流子濃度
cm-3 |
遷移率(cm2/V.s) |
位錯密度(cm-2) |
標準基片 | |
GaSb |
本征 |
P |
(1-2)*1017 |
600-700 |
《1*104 |
Φ2″×0.5mm
Φ3″×0.5mm | |
GaSb |
Zn |
P |
(5-100)*1017 |
200-500 |
《1*104
|
Φ2″×0.5mm
Φ3″×0.5mm | |
GaSb |
Te |
N |
(1-20)´1017 |
2000-3500 |
《1*104 |
Φ2″×0.5mm
Φ3″×0.5mm | |
尺寸(mm) |
Dia50.8x0.5mm,10×10×0.5mm、10×5×0.5mm可按照客戶需求,定制特殊方向和尺寸的襯底 | ||||||
表面粗糙度 |
Surface roughness(Ra):<=5A 可提供原子粒顯微鏡(AFM)檢測報告 | ||||||
拋光 |
單面或雙面 | ||||||
包裝 |
100級潔凈袋,1000級超凈室 |