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濺射靶材
材料
純度
最大尺寸
Al
2
O
3
4N
Dia3〞
MgO
4N
Dia2〞
SrTiO
3
4N
Dia30
Si
5N
Dia4〞
SiO
2
5N
Dia4〞
Ge
5N
Dia4〞，Dia2〞
LaAlO
3
4N
Dia2〞，Dia3〞
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