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450UPL |
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主機(jī) |
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系統(tǒng)配置 |
超精密2,3或4軸CNC機(jī)床并預(yù)留Y軸定位功能 |
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主軸加工能力
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直徑450mm x長(zhǎng)300mm (不選配旋轉(zhuǎn)軸B. Axis時(shí)轉(zhuǎn)動(dòng)直徑為200mm)注:可定制加工口徑 |
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基本架構(gòu) |
整合有冷卻槽 |
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控制系統(tǒng)
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Delta Tau系統(tǒng) |
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編程分辨率 |
線性分辨率0.01 nanometer /角度分辨率0.0000001 |
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主軸 |
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類型 |
獨(dú)家專有PI帶有中心推力平板的徑向溝槽補(bǔ)償空氣軸承 |
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液體冷卻(選項(xiàng)) |
封閉的環(huán)繞式致冷系統(tǒng) |
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轉(zhuǎn)速范圍 |
50至10,000 rpm,雙向轉(zhuǎn)動(dòng) |
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承載能力(徑向) |
70Kg，100 psi/85Kg，145psi |
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軸向剛性 |
228 N/um，100 psi/
260 N/um，145 psi |
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軸向剛性(頂部) |
98N/um，100psi/
140N/ um, 145 psi |
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運(yùn)動(dòng)精度 |
軸向：小于等于12.5納米
徑向：小于等于12.5納米 |
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線性軸 |
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X軸行程 |
350mm |
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Z軸行程 |
350mm |
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Y軸行程選配，垂直 |
100mm |
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選配旋轉(zhuǎn)軸 |
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B軸行程 |
360°(雙向) |
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C軸行程 |
360°(雙向) |
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B軸定位精度 |
士1.0弧秒 |
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C軸定位精度 |
士1.0弧秒 靜態(tài) |